## 前言
隨著光電產業向精密化、智能化方向加速演進,出射光束平行度檢測已成為激光加工、光學通信、精密測量等領域的核心技術指" />

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出射光束平行度檢測

發布時間:2025-08-26 05:18:35- 點擊數: - 關鍵詞:

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出射光束平行度檢測的核心項目解析

一、發散角測量

  • 使用準直儀配合位置傳感器,測量光束在遠場(如數米外)的光斑尺寸。
  • 通過公式 ?=arctan?(Δ?/2?)θ=arctan(Δd/2L) 計算發散角(Δ?Δd為光斑直徑變化,?L為傳播距離)。 評判標準:工業激光器通常要求發散角<1 mrad,高精度場景需<0.1 mrad。

二、光束直徑變化率檢測

  • 在多個固定距離點(如1m、5m、10m)測量光束直徑,計算變化率。
  • 使用CCD相機或光束分析儀捕捉光斑并提取直徑數據。 評判標準:理想平行光束直徑變化率趨近于0,實際應用中需根據場景設定閾值。

三、光斑形狀分析

  • 采集光斑圖像,計算橢圓度(長短軸比值)及強度分布均勻性。
  • 使用軟件分析光斑的環狀結構或畸變(如桶形/枕形失真)。 評判標準:高質量平行光束的光斑接近圓形,且強度分布呈高斯或平頂分布。

四、波前平整度檢測

  • 采用干涉儀(如菲索干涉儀)生成干涉條紋,分析波前相位分布。
  • 計算波前誤差(RMS值)及峰谷值(PV值)。 評判標準:精密光學系統要求波前誤差<λ/10(λ為波長)。

五、光軸穩定性測試

  • 連續監測光束中心位置(如使用四象限探測器),記錄偏移量。
  • 結合振動隔離臺,排除外部干擾,測試長期漂移特性。 評判標準:高穩定系統要求漂移量<1%光束直徑/小時。

六、M²因子測定

  • 測量光束在近場(聚焦位置)和遠場的束腰直徑及發散角。
  • 通過公式 ?2=??0?4?M2=4λπω0?θ? 計算(?0ω0?為束腰半徑,?θ為發散角)。 評判標準:工業激光器通常M²<1.3,單模光纖激光器可達M²≈1.05。

七、環境因素敏感性測試

  • 在溫控箱中模擬極端環境,監測發散角及光斑形變。
  • 對比不同濕度下的光束指向穩定性。 評判標準:根據應用環境制定(如溫度每變化1℃,發散角偏移<0.01 mrad)。

檢測標準與場景適配

  • 激光切割:側重發散角與光斑直徑穩定性,確保切口精度。
  • 空間通信:嚴格要求波前平整度與光軸穩定性,減少信號衰減。
  • 生物成像:重視光斑均勻性,避免成像偽影。


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