## 首段:行業背景與核心價值
隨著半導體制造、生物醫藥、航天航空等高端產業快速發展,工業用氮氣純度標準呈現多級分化趨" />

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純氮、高純氮、超純氮檢測

發布時間:2025-05-16 20:02:45- 點擊數: - 關鍵詞:

實驗室擁有眾多大型儀器及各類分析檢測設備,研究所長期與各大企業、高校和科研院所保持合作伙伴關系,始終以科學研究為首任,以客戶為中心,不斷提高自身綜合檢測能力和水平,致力于成為全國科學材料研發領域服務平臺。

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想了解檢測費用多少?
有哪些適合的檢測項目?
檢測服務流程是怎么樣的呢?
  1. 純氮(Grade 3)
  • 純度:≥99.9%
  • 執行標準:GB/T 8979-2008《純氮》
  1. 高純氮(Grade 4/5)
  • 純度:≥99.999%
  • 執行標準:GB/T 8980-2008《高純氮》
  1. 超純氮(Grade 6+)
  • 純度:≥99.9999%
  • 符合SEMI國際標準
  1. 純度測定
  • 差減法:總雜質含量≤0.1%(純氮)
  • 直接測定法:用于高純度氣體(>99.99%)
  1. 氧含量檢測
  • 電化學法:檢測限0.1ppm
  • 激光光譜法:可達ppb級
  1. 水含量(露點)
  • 電容式露點儀:-80℃~+20℃
  • 冷鏡式露點儀:精度±0.1℃
  1. 純氮關鍵指標:
  • 總烴含量(≤0.5ppm)
  • 二氧化碳(≤10ppm)
  • 顆粒物粒徑(≤0.1μm)
  1. 高純氮擴展檢測:
  • 特定雜質(CO、CH4)≤0.1ppm
  • 金屬離子總量≤10ppb
  • 放射性核素檢測
  1. 超純氮特殊要求:
  • 痕量硫化物(H2S、SO2)≤5ppt
  • 重金屬(Fe、Cu、Cr)≤0.1ppb
  • 亞微米顆粒(≥0.01μm計數)
  1. 氣相色譜-氦離子化檢測器(GC-PDHID)
  • 檢測限達ppb級
  • 可同時測定H2、O2、CO等10種雜質
  1. 電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)
  • 金屬元素檢測下限0.01ppb
  • 適用于半導體級氮氣檢測
  1. 質子轉移反應質譜(PTR-MS)
  • 揮發性有機物檢測靈敏度0.1ppt
  1. 激光粒子計數器
  • 0.01μm顆粒檢測能力
  • 符合ISO 14644-1潔凈度標準
  1. 采樣系統處理
  • 內壁鈍化不銹鋼管路
  • 前置膜式過濾器(0.01μm)
  1. 環境干擾控制
  • 正壓取樣室(ISO 5級)
  • 在線脫氧脫水預處理
  1. 數據可靠性保障
  • 三重四級桿質譜驗證
  • NIST標準氣體定期校準
  1. 電子行業(超純氮):
  • 鈉、鉀離子≤0.05ppb
  • 有機硅氧烷≤1ppt
  1. 食品級氮氣:
  • 微生物限度≤1CFU/m³
  • 油分含量≤0.01mg/m³
  1. 醫療用氣:
  • 一氧化氮≤0.1ppm
  • 環氧乙烷殘留檢測
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